در این مطالعه فعالیت حفره‌سازی (کاواک‌زایی-کاویتاسیون) حاصل از تابش امواج فراصدایی (اولتراساوند)، با پارامتر‌های تابش متفاوت توسط تحلیل علائم زیرهماهنگ (سیگنال ساب‌هارمونیک) اندازه‌گیری شده است. آزمایش‌ها تحت میدان تابش 1 مگاهرتز انجام شد. و اثر پارامتر‌های تابش فراصدایی با تغییرات چرخه کاری در شدت 2/2 وات بر سانتی‌متر‌مربع و تغییرات شدت امواج صوتی در مُد پیوسته با استفاده از تحلیل طیف زیرهماهنگ (ساب‌هارمونیک) اندازه‌گیری شده است. همبستگی میان نتایج شدت فلورسانس در دزیمتر شیمیایی ترفتالیک اسید و نتایج تحلیل طیف زیرهماهنگ توسط تحلیل همبستگی پیرسون با تراز معنا‌داری کم‌تر از 05/0 بررسی شده است. نتایج نشان داد که در مُد پیوسته، شدت علائم زیرهماهنگ با تراز معنا‌داری کم‌تر از 05/0 بیش از شدت در مُد تپی (پالسی) است. شدت زیرهماهنگ بر حسب میکرو وات بر سانتی‌متر‌مربع همبستگی معنا‌داری با شدت فلورسانس (شمارش) دارد و شدت فلورسانس حاصل از دزیمتر شیمیایی را می‌توان بر‌اساس تحلیل طیف زیرهماهنگ تخمین زد. نتیجه‌گیری می‌شود که روش تحلیل طیف زیرهماهنگ روشی مناسب برای بررسی فعالیت حفره‌سازی (کاواک‌زایی-کاویتاسیون) صوتی است.