fa قابلیت اطمینان حسگر فشار خازنی با دو ماده سیلیکون و کاربید سیلیکون آوصوتیّات Hydroacoustics پژوهشي Research <div style="text-align: justify;"><span style="font-size:16px;">در‌ این پژوهش یک حسگر فشار خازنی مِمز با دو ماده سیلیکون و کاربید سیلیکون شبیه‌سازی می‌شود. هدف از شبیه‌سازی‌ این حسگر، تحلیل و بررسی تاثیر عوامل مختلف مانند هندسه دیافراگم، دمای محیط، مواد ساخت و همچنین تلرانس‌‌های ساخت بر روی عملکرد و قابلیت اطمینان سامانه‌ است. شبیه‌سازی‌‌های انجام شده نشان داد که افزایش دما و تلرانس‌‌های ساخت باعث تغییر قابلیت اطمینان در سامانه‌ شد. حسگر برای دو ماده سیلیکون و کاربید سیلیکون شبیه‌سازی شد. مقایسه‌ نتایج حاصل از شبیه‌سازی نشان داد که حسگر با جنس کاربید سیلیکون با تجربه تنش کم‌تر و قابلیت اطمینان بالاتر ماده مناسب‌تری برای ساخت حسگر فشار است. کاربید سیلیکون قابلیت اطمینان 92 درصد و سیلیکون قابلیت اطمینان 81 درصد را از خود نشان دادند که به معنای خرابی به ترتیب 80 و 190 قطعه از هر ۱۰۰۰ قطعه است. در ادامه شبیه‌سازی‌‌های خستگی برای دیافراگم حسگر فشار انجام شد و تاثیر مقدار تلرانس‌‌های ساخت، مساحت و ضخامت دیافراگم، فشار کاری و نوع دیافراگم‌‌های دایره‌ای و مربعی بر روی عمر خستگی نیز مورد بررسی قرار گرفت. </span></div> <span style="font-size:16px;"><span style="font-family:Times New Roman;"><span style="background:yellow"><span style="background-color:#ffffff;">In this research, a MEMS capacitive pressure sensor is simulated with two materials, silicon and silicon carbide. The purpose of simulating this sensor is to analyze and investigate the effect of various factors such as diaphragm geometry, ambient temperature, manufacturing materials, and manufacturing tolerances on the performance and reliability of the system. The simulations show that the increase in temperature and manufacturing tolerances can change the reliability of the system. The sensor is simulated for two materials, silicon, and silicon carbide. A comparison of the simulation results shows that a silicon carbide sensor with less stress experience and higher reliability is a more suitable material for making a pressure sensor. Silicon carbide shows 92% reliability and silicon 81% reliability, which means failure of 80 and 190 pieces out of every 1000 pieces, respectively. In the following, fatigue simulations are performed for the pressure sensor diaphragm, and the effect of manufacturing tolerances, diaphragm area and thickness, working pressure, and the type of circular and square diaphragms on the fatigue life is also investigated.</span></span><span style="background-color:#ffffff;"> </span></span></span> قابلیت اطمینان, عمر مفید, نرخ خرابی, سامانه‌‌‌های میکروالکترومکانیکی, کاربید سیلیکون. Reliability, fatigue life, failure rate, micro-electromechanical systems, silicon carbide 77 82 http://joasi.ir/browse.php?a_code=A-10-1148-1&slc_lang=fa&sid=1 Abbas Rahi عباس رهی a_rahi@sbu.ac.ir 3932658213 10031947532846004065 Yes Shahid Beheshti Univ. دانشگاه شهید بهشتی Ramin Jafari رامین جعفری ramin.ja1996@gmail.com 10031947532846004066 10031947532846004066 No Shahid Beheshti Univ. دانشگاه شهید بهشتی