در این مقاله، حساسیت یک حسگر ریزساخت (میکروحسگر) برای اندازهگیری سرعت ذرات بررسی میشود. حسگر با استفاده از فرآیند میکروماشینکاری بر روی بستر سیلیکونی ساخته شد و مدار خوانش متناظری برای دریافت کامل علامت طراحی گردید. بهمنظور کاهش تلفات توان گرمایی از طریق بدنه و نیز کاهش آثار تداخلی، ساختار دو سیمه روی یک کانال صوتین کوتاه با مقطع مستطیلی معلق شده است. جهت، شدت و بسامد صدای ورودی سه شبهسنج کلیدی مؤثر بر عملکرد این حسگر هستند. این مطالعه بر تأثیر شدت تمرکز دارد. حسگر برای بازه بسامدی ۱۰۰ تا ۲۰۰۰ هرتز طراحی و ساخته شده است. علاوه بر تشخیص جهت صدا، قابلیت اندازهگیری شدت صدای ورودی را در نقش یک میکروفون نیز دارد. نتایج نشان میدهد با کاهش ۱۵ دسیبل شدت موج ورودی، خروجی حسگر در بسامد ۱ کیلوهرتز به میزان ۵۰ درصد کاهش مییابد. حسگر از حساسیت حدود ۳ میلیولت به ازای هر ۱۰ دسیبل (پس از تقویت) برخوردار است که امکان استفاده از آن را در اندازهگیری صوتین در طیف وسیعی از کاربردها فراهم میکند.
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |