fa بررسی حساسیت حسگر ریزساخت صدا ساخته‌شده با فناوری میکروماشین‌کاری به شدت موج صدای ورودی عمومی General كاربردي Applicable <p class="ds-markdown-paragraph" style="text-align: justify;"><span style="font-size:16px;">در این مقاله، حساسیت یک حسگر ریزساخت (میکروحسگر) برای اندازه‌گیری سرعت ذرات بررسی می‌شود. حسگر با استفاده از فرآیند میکروماشین‌کاری بر روی بستر سیلیکونی ساخته شد و مدار خوانش متناظری برای دریافت کامل علامت طراحی گردید. به‌منظور کاهش تلفات توان گرمایی از طریق بدنه و نیز کاهش آثار تداخلی، ساختار دو سیمه روی یک کانال صوتین کوتاه با مقطع مستطیلی معلق شده است. جهت، شدت و بسامد صدای ورودی سه شبه‌سنج کلیدی مؤثر بر عملکرد این حسگر هستند. این مطالعه بر تأثیر شدت تمرکز دارد. حسگر برای بازه بسامدی ۱۰۰ تا ۲۰۰۰ هرتز طراحی و ساخته شده است. علاوه بر تشخیص جهت صدا، قابلیت اندازه‌گیری شدت صدای ورودی را در نقش یک میکروفون نیز دارد. نتایج نشان می‌دهد با کاهش ۱۵ دسی‌بل شدت موج ورودی، خروجی حسگر در بسامد ۱ کیلوهرتز به میزان ۵۰ درصد کاهش می‌یابد. حسگر از حساسیت حدود ۳ میلی‌ولت به ازای هر ۱۰ دسی‌بل (پس از تقویت) برخوردار است که امکان استفاده از آن را در اندازه‌گیری صوتین در طیف وسیعی از کاربردها فراهم می‌کند.</span></p> <div style="text-align: justify;"><span style="font-size:16px;"><span style="font-family:Times New Roman;"><span style="unicode-bidi:embed"><span lang="EN">In this article, the sensitivity of a micro‑fabricated acoustic sensor for particle velocity measurement is investigated. The sensor was fabricated using a silicon‑based micromachining process, and a dedicated readout circuit was designed to fully process its signal. To mitigate thermal power loss through the substrate and reduce interference effects, the two‑wire sensing structure was suspended within a short acoustic channel of rectangular cross‑section. The direction, intensity, and frequency of the incident sound wave are the three key parameters influencing the sensor&#39;s performance; This study focuses on the effect of intensity. The sensor was designed and fabricated for the frequency range of 100&ndash;2000 Hz, functioning not only as a directional sensor but also as an intensity‑measuring microphone. The results indicate that a 15 dB reduction in the input sound pressure level (SPL) leads to a 50% decrease in the sensor&#39;s output at 1 kHz. The sensor exhibits a sensitivity of approximately 3 mV per 10 dB after amplification, making it suitable for acoustic measurement in a wide range of applications</span><span dir="RTL" lang="AR-SA">.</span></span></span></span></div> حسگر گرمایی, میکروفلاون, میکروماشین‌کاری, سیلیکون, میکروفون , حسگر سرعت ذرات. Thermal sensor, Microflown, Micromachining, Silicon, Microphone, Particle speed sensor. 62 67 http://joasi.ir/browse.php?a_code=A-10-1215-1&slc_lang=fa&sid=1 Javad Koohsorkhi جواد کوهسرخی koohsorkhi@ut.ac.ir 0900589620 10031947532846004282 Yes University of Tehran دانشگاه تهران Amir Reza Madadi Bandan امیر رضا مددی بندان amir.reza.madadi@ut.ac.ir 1960491970 10031947532846004283 No University of Tehran دانشگاه تهران Mohammad Hossein Hamidzadeh محمدحسین حمیدزاده mhhamidzadeh@gmail.com 0083114051 10031947532846004284 No Azad University دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات