سال 13، شماره 1 - ( دو فصل‌نامه انجمن علوم صوتی ايران بهار و تابستان 1404 )                   جلد 13 شماره 1 صفحات 67-62 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Koohsorkhi J, Madadi Bandan A R, Hamidzadeh M H. Investigation of the Sensitivity of a Micro-Machined Acoustic MEMS Sensor to Input Sound Wave Intensity. مجله انجمن علوم صوتی ایران (مهندسی صوتیات سابق) 2025; 13 (1) : 7
URL: http://joasi.ir/article-1-306-fa.html
کوهسرخی جواد، مددی بندان امیر رضا، حمیدزاده محمدحسین. بررسی حساسیت حسگر ریزساخت صدا ساخته‌شده با فناوری میکروماشین‌کاری به شدت موج صدای ورودی. مجله انجمن علوم صوتی ایران (مهندسی صوتیات سابق). 1404; 13 (1) :62-67

URL: http://joasi.ir/article-1-306-fa.html


چکیده:   (20 مشاهده)

در این مقاله، حساسیت یک حسگر ریزساخت (میکروحسگر) برای اندازه‌گیری سرعت ذرات بررسی می‌شود. حسگر با استفاده از فرآیند میکروماشین‌کاری بر روی بستر سیلیکونی ساخته شد و مدار خوانش متناظری برای دریافت کامل علامت طراحی گردید. به‌منظور کاهش تلفات توان گرمایی از طریق بدنه و نیز کاهش آثار تداخلی، ساختار دو سیمه روی یک کانال صوتین کوتاه با مقطع مستطیلی معلق شده است. جهت، شدت و بسامد صدای ورودی سه شبه‌سنج کلیدی مؤثر بر عملکرد این حسگر هستند. این مطالعه بر تأثیر شدت تمرکز دارد. حسگر برای بازه بسامدی ۱۰۰ تا ۲۰۰۰ هرتز طراحی و ساخته شده است. علاوه بر تشخیص جهت صدا، قابلیت اندازه‌گیری شدت صدای ورودی را در نقش یک میکروفون نیز دارد. نتایج نشان می‌دهد با کاهش ۱۵ دسی‌بل شدت موج ورودی، خروجی حسگر در بسامد ۱ کیلوهرتز به میزان ۵۰ درصد کاهش می‌یابد. حسگر از حساسیت حدود ۳ میلی‌ولت به ازای هر ۱۰ دسی‌بل (پس از تقویت) برخوردار است که امکان استفاده از آن را در اندازه‌گیری صوتین در طیف وسیعی از کاربردها فراهم می‌کند.

شماره‌ی مقاله: 7
متن کامل [PDF 756 kb]   (5 دریافت)    
نوع مطالعه: كاربردي | موضوع مقاله: عمومی
دریافت: 1403/7/10 | پذیرش: 1404/7/23 | انتشار: 1404/9/30

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

ارسال پیام به نویسنده مسئول


بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.